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提出了键合过程中硅片接触的一种弹性形变模型.接触硅片表面的周期性应力场决定着接触表面形貌的变化.Airy应力函数给出了满足键合界面应力平衡微分方程的解.根据应变场的分布,给出了硅片键合界面弹性形变的范围.
硅片接触表面的弹性形变范围
【摘 要】
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提出了键合过程中硅片接触的一种弹性形变模型.接触硅片表面的周期性应力场决定着接触表面形貌的变化.Airy应力函数给出了满足键合界面应力平衡微分方程的解.根据应变场的分
【机 构】
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中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点联合实验室,中国科学院半导体研究所集成光电子学国
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2001年6期
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