【摘 要】
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自L·C克拉克1956年发表了他对氧敏感元件的研究工作以来,克拉克溶氧探头得到越来越广泛地应用。 迄今为止,溶氧器件还是限于电化学的研制,体积大,操作使用不方便。利用半导
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自L·C克拉克1956年发表了他对氧敏感元件的研究工作以来,克拉克溶氧探头得到越来越广泛地应用。 迄今为止,溶氧器件还是限于电化学的研制,体积大,操作使用不方便。利用半导体平面工艺研制溶氧器件是目前国际
Since L · C Clarke published his work on oxygen-sensitive components in 1956, Clarke’s oxygen probe has been used more and more widely. So far, dissolved oxygen device is still limited to the development of electrochemical, bulky, inconvenient to use. The use of semiconductor planar technology to develop dissolved oxygen device is currently international
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