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期刊论文
纳米测量标准器研制成功
纳米测量标准器研制成功
来源 :中国石油和化工 | 被引量 : 0次 | 上传用户:shui__hen
【摘 要】
:
天津市检验检疫局研制的纳米尺度测量标准器,获得国家实用新型专利授权。该产品采用国际先进的聚焦离子束刻蚀技术,具有分辨率高、线距均匀、材料稳定、设计独特等特点,可以满足
【出 处】
:
中国石油和化工
【发表日期】
:
2012年8期
【关键词】
:
纳米测量
标准器
纳米材料
检验检疫局
聚焦离子束
尺度测量
专利授权
实用新型
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天津市检验检疫局研制的纳米尺度测量标准器,获得国家实用新型专利授权。该产品采用国际先进的聚焦离子束刻蚀技术,具有分辨率高、线距均匀、材料稳定、设计独特等特点,可以满足不同形状样品的比对测量需求,有效解决了纳米尺度更准确的测量问题,填补了纳米材料领域标准器国内空白,达到国际先进水平。
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