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针对RFMEMS开关的可靠性问题，利用有限元软件COMSOL，对悬臂式RFMEMS开关周围的电场分布，开关上的电荷分布和本征频率进行了分析；并研究了在静电场和结构力场耦合作用下悬臂梁的内应力情况，找出开关损坏的可能部位，探索RFMEMS失效的机理，为悬臂式RFMEMS开关的优化改进提供理论依据。