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本文针对上海氮化硅制品厂氮化硅反应烧结工艺存在的温度控制重要课题，探讨氮化硅反应烧结工艺温度曲线的优化方法。
氮化硅反应烧结工艺温度曲线优化的研究
【摘 要】
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本文针对上海氮化硅制品厂氮化硅反应烧结工艺存在的温度控制重要课题，探讨氮化硅反应烧结工艺温度曲线的优化方法。
【机 构】
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同济大学
【出 处】
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中国陶瓷
【发表日期】
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1998年1期
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