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采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜,利用X射线衍射分析（XRD）、纳米压痕仪、扫描电子显微镜（SEM）表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为30nm时,纳米硬度达到38GPa。
非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/ZrN多层膜
【摘 要】
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采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/ZrN纳米多层膜,利用X射线衍射分析（XRD）、纳米压痕仪、扫描电子显微镜（SEM）表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院,廊坊恒宇工具有限公司
【出 处】
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金属热处理
【发表日期】
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2008年8期
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