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集成铁电器件中的关键工艺研究

来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangzhouzhoudaojun

【摘 要】

：

对集成铁电器件中的关键工艺进行了研究,采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了高品质、(110)择优取向的锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜,成功的利用离子束刻蚀(IBE)、反应离子刻蚀(RI

【作 者】

：

杨轶 张宁欣 任天令 刘理天 

【出 处】

：

仪器仪表学报

【发表日期】

：

2003年z2期

【关键词】

：

铁电薄膜 锆钛酸铅 溶胶-凝胶 刻 蚀 剥 离 Ferroelectric thin film PZT Sol-gel Etching Lift-off 

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对集成铁电器件中的关键工艺进行了研究,采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备了高品质、(110)择优取向的锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜,成功的利用离子束刻蚀(IBE)、反应离子刻蚀(RIE)和湿法腐蚀方法对PZT薄膜进行了刻蚀加工,采用正胶剥离和干法刻蚀工艺实现了金属铂(Pt)电极图形,为集成铁电器件的实现提供了良好的工艺基础.

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