Al-Mn 多层膜离子束混合

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离子束混合是一种材料改性和新材料研制的有效方法,本实验用Ar+离子束对Al-Mn多层薄膜在室温下进行轰击使其非晶化,并对样品电阻率随离子注入剂量及温度的变化关系进行原位测量.电阻温度系数TCR和TEM观测证实了样品离子束混合后电性能和结构发生改变生成了非晶相. Ion beam mixing is an effective method for material modification and new material development. In this experiment, the Al-Mn multilayers were bombarded with Am + ion beam at room temperature to make it amorphized. The resistivity of sample was measured with ion implantation dose And the relationship between temperature changes in situ measurements. The temperature coefficient of resistance (TCR) and the transmission electron microscopy (TEM) confirmed that the electrical properties and structure of the samples were changed after the ion beam was mixed to form the amorphous phase.
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