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计算机的性能主要取决于处理器芯片的运算速度和内存容量的大小,而处理器芯片的运算速度和内存容量的大小又主要决定于光刻技术中的曝光光源的波长、光掩膜的精度及所用材料的特性等因素。随着计算机性能进一步提高,光刻技术的限制将成为其前进道路上的难以逾越的障碍,因此,未来计算机的发展将属于机理更新范畴,将会采用纳米电子技术和并行技术,最终将朝着量子计算机方面发展。