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针对实际生产中遇到的薄膜静电影响问题 ,采用了一种比较巧妙的电路方法———线圈隔离法消除了静电的影响。该技术是一种实用的在线薄膜测量技术 ,也可以运用到其他电容式传感器非接触式的在线测量中。
高静电场下的薄膜测厚技术
【摘 要】
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针对实际生产中遇到的薄膜静电影响问题 ,采用了一种比较巧妙的电路方法———线圈隔离法消除了静电的影响。该技术是一种实用的在线薄膜测量技术 ,也可以运用到其他电容式传感器非接触式的在线测量中。
【机 构】
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清华大学工程物理系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2001年08期
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