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一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极
一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极
来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:HongJuZhang
【摘 要】
:
主要研究了湿法化学刻蚀硅微尖,采用各向同性腐蚀的方法在〈111〉晶面和〈100〉晶面的单昌硅衬底上制备了硅微尖。实验结果表明〈111〉晶面的硅衬底上容易制备顶端曲率半径比较小的硅微
【作 者】
:
王维彪
梁静秋
【机 构】
:
中国科学院长春物理研究所
【出 处】
:
发光学报
【发表日期】
:
1999年1期
【关键词】
:
微电子
硅微尖
冷阴极
化学刻蚀
一步湿法
腐蚀
vacuum microelectronics
Sitip
cold cathode
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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主要研究了湿法化学刻蚀硅微尖,采用各向同性腐蚀的方法在〈111〉晶面和〈100〉晶面的单昌硅衬底上制备了硅微尖。实验结果表明〈111〉晶面的硅衬底上容易制备顶端曲率半径比较小的硅微尖。
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