【摘 要】
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用醋酸锶（Sr（Ac）2）、醋酸钡（Ba（Ac）2）和钛酸四丁酯（TBT）为原材料，采用sol－gel工艺制备Ba1－xSrxTiO3系铁电薄膜研究了螯合剂乙酸丙酮（HAcAc）的添加对金属有机前驱体的热演化特性及薄膜微结构
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用醋酸锶（Sr（Ac）2）、醋酸钡（Ba（Ac）2）和钛酸四丁酯（TBT）为原材料，采用sol－gel工艺制备Ba1－xSrxTiO3系铁电薄膜研究了螯合剂乙酸丙酮（HAcAc）的添加对金属有机前驱体的热演化特性及薄膜微结构的影响提出控制薄膜微结构的有效途径，讨论了HACAC对薄膜微结构的调制机理
Ba1-xSrxTiO3 ferroelectric thin films were prepared by sol-gel process using strontium acetate (Sr (Ac) 2), barium acetate (Ba (Ac) 2) and tetrabutyl titanate (TBT) as raw materials. The Effect of Addition of Acetone (HAcAc) on Thermal Evolution Characteristics and Microstructure of Metallic Organic Precursor The effective way to control the microstructure of thin film is proposed. The modulation mechanism of HACAC on the microstructure of thin film
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