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为了充分发挥电子束焊接技术在航空航天领域的作用，对反映束流品质的关键因素一电子束能量密度开展了研究；基于法拉第传感原理，通过DIABEAM测试法对真空电子束焊机电子束能量密度分布进行测试分析；结果表明：电子束能量密度分布呈非对称的近高斯分布，随着聚焦电流的增加，电子束能量密度趋于发散分布，达到焦点状态时dP90区域内电子束能量密度均值最高；电子束能量密度峰值随着灯丝加热电流增加而增加，但受灯丝尺寸等因素的影响，灯丝加热电流达到稳定值后能量密度分布不变。