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采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感产品的量程已达５－１０ｋＰａ。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计（ＰＴ－２４），结合适当的工艺可以制成量程为１ｋＰａ的器件。
微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器
【摘 要】
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采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感产品的量程已达５－１０ｋＰａ。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计（ＰＴ－２４），结合适当的工艺可以制
【机 构】
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复旦大学电子工程系传感器室,复旦大学电子工程系传感器室上海200433教授,上海200433,上海200433
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1994年2期
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