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基于MEMS技术完成了一个360GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小，通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求，而MEMS工艺通过溅射、光刻、电镀等流程完全可达到亚毫米波电路的精度要求。由此得到的混频电路尺寸非常紧凑，可以满足小型化应用的需要。
基于MEMS加工工艺的亚毫米波肖特基单端混频器
【摘 要】
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基于MEMS技术完成了一个360GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小，通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求，而MEMS工艺通过溅射、光刻、电镀等流程完全可达到亚毫米波电路的精度要求。由此得到的混频电路尺寸非常紧凑，可以满足小型化应用的需要。
【机 构】
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南京理工大学，江苏 南京 210094 南京理工大学，江苏 南京 210094 北方惠丰机电有限公
【出 处】
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第八届全国毫米波亚毫米波学术会议
【发表日期】
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2011年6期
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