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STM式三维nm级轮廓仪的研究
STM式三维nm级轮廓仪的研究
来源 :华中理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wjw842008
【摘 要】
:
基于STM式三维nm级轮廓仪的检测原理、检测系统,研究了与其相关的检测技术.该轮廓仪可直接测量较大工件,扫描范围为140μm×140μm,分辨率达nm级.最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨
【作 者】
:
李文菊
张鸿海
【机 构】
:
机械科学与工程学院
【出 处】
:
华中理工大学学报
【发表日期】
:
1996年7期
【关键词】
:
检测
扫描隧道显微镜
轮廓仪
measurement
scanning tunneling microscope (STM)
3-D profiler
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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基于STM式三维nm级轮廓仪的检测原理、检测系统,研究了与其相关的检测技术.该轮廓仪可直接测量较大工件,扫描范围为140μm×140μm,分辨率达nm级.最后对工作台扫描非线性及扫描控制技术进行讨论,并利用多项式拟合法补偿工作台扫描的非线性误差,进而提出了一种平滑反馈扫描技术.
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