【摘 要】
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数字计算表明,加金这样的重金属导电层,增强了机-电耦合,从而降低了ZnO薄膜和Si基片之间的SAW速度.计算还表明,可在相速温度系数不恶化的情况下提高机-电耦合系数.
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数字计算表明,加金这样的重金属导电层,增强了机-电耦合,从而降低了ZnO薄膜和Si基片之间的SAW速度.计算还表明,可在相速温度系数不恶化的情况下提高机-电耦合系数.
Numerical calculations show that the heavy metal conductive layer, such as gold, enhances the mechanical-electrical coupling, thereby reducing the SAW velocity between the ZnO film and the Si substrate. The calculations also show that it can be increased without worsening the temperature coefficient of phase velocity Machine - electric coupling coefficient.
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