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由于微 H2O 对 SF6在过热性故障下的分解特性有较大影响，要利用SF6分解特征组分分析法来诊断SF6设备过热性故障的严重程度和发展趋势，必须对诊断结果有较大影响的微 H2O 因素进行深入研究，掌握其影响规律，进而对诊断结果进行校正。为此，在研制的 SF6电气设备过热性故障模拟试验平台上，模拟产生局部炽热高温使SF6发生分解，用气相色谱仪和气相色谱–质谱联用仪对不同微H2O含量下的 SF6过热分解组分进行定量测定，以获取微 H2O 含量对特征组分及特征比值的影响特性与规律，确定相关的校正方法。研究表明，微 H2O 对 SF6过热分解各产物有效产气速率影响显著，且影响规律各不相同；但各特征组分有效产气速率和特征比值 c(SOF4+SO2F2)/c(SOF2+SO2)均与微H2O 含量有较强的关联性，经过相关校正可作为有效诊断SF6电气设备过热性故障的特征量。