【摘 要】
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采用6FDA、6FHP、ODA共聚物材料,对材料的化学和光学性能进行了表征.用旋涂法获得了较高质量的共聚物薄膜,并对薄膜的性能进行了探讨.在此基础上采用先进工艺技术将该薄膜制
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采用6FDA、6FHP、ODA共聚物材料,对材料的化学和光学性能进行了表征.用旋涂法获得了较高质量的共聚物薄膜,并对薄膜的性能进行了探讨.在此基础上采用先进工艺技术将该薄膜制备成条波导,测试结果表明该波导在光通信波段1550nm处的平均传输损耗小于0.66dB/cm,局部损耗在0.2dB/cm.
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