【摘 要】
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碳纳米管场效应管是未来纳米器件的发展方向,而制造纳米器件的前提是拾取碳纳米管,基于扫描电子显微镜（SEM）的微纳机器人操作系统能够实现碳纳米管拾取操作.本文建立拾取操作中
【机 构】
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上海大学机电工程与自动化学院,苏州大学机器人与微系统中心,北京理工大学机电工程学院智能机器人研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:61573238,61433010)资助的课题~~
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碳纳米管场效应管是未来纳米器件的发展方向,而制造纳米器件的前提是拾取碳纳米管,基于扫描电子显微镜（SEM）的微纳机器人操作系统能够实现碳纳米管拾取操作.本文建立拾取操作中碳纳米管与原子力显微镜（AFM）探针间范德瓦耳斯力力学模型,不同接触状态下范德瓦耳斯力越大越有利于拾取碳纳米管.在SEM视觉反馈图像中建立相对坐标系,首先提出倾角变值方法检测碳纳米管与AFM探针的接触状态,然后运用动态差值方法识别碳纳米管与AFM探针空间位姿并校正碳纳米管位姿,最后自下而上拾取碳纳米管.实验结果表明：拟合直线倾角变值较大时
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