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本文介绍了当前金刚石薄膜形核的现状及用热丝化学气相沉积法在不同的衬底上沉积金刚石膜,对Si、Ni、Cu三种衬底生长的金刚石膜进行研究如何增大形核密度、提高形核质量.得到了制备高密度和高质量的金刚石膜的方法.
金刚石薄膜的形核研究
【摘 要】
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本文介绍了当前金刚石薄膜形核的现状及用热丝化学气相沉积法在不同的衬底上沉积金刚石膜,对Si、Ni、Cu三种衬底生长的金刚石膜进行研究如何增大形核密度、提高形核质量.得到
【机 构】
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长春理工大学,长春工程学院
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2003年4期
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