切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用
深紫外深度光刻蚀在LIGA工艺中的应用
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liangmin888
【摘 要】
:
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,并将该实验装置成功地应用于LIGA工艺的深度
【作 者】
:
余国彬
姚汉民
胡松
陈兴俊
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2002年4期
【关键词】
:
深紫外深度光刻蚀
LIGA工艺
微型机电系统
微细加工
MEMS
micro-fabrication
LIGA process
deep lithograph
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
随着MEMS在各个领域的运用,人们也开始探讨低成本、操作方便的LIGA工艺.本文重点介绍了一种用于深紫外光深度光刻实验装置的设计,并将该实验装置成功地应用于LIGA工艺的深度光刻中,光刻实验结果表明深紫外光深度光刻具有很大的实用意义.
其他文献
谈音乐中的自我情感与人类情感
音乐不能脱离情感,它总是通过某种渠道来表达作曲家的自我情感,音乐还可以趾高气扬地、最深刻地去表现人类的普遍情感.
期刊
音乐
自我情感
人类情感
生理机制
心理机制
高中英语阅读的形式与技巧
针对高中学生在接受义务教育初中英语教学基础上如何进一步提高阅读能力,阐述了高中英语阅读的主要形式并重点探讨了高中学生提高阅读能力的技巧。
期刊
阅读形式
阅读能力
预测
中心思想
主题句
词义
推断
CO2与乙醚和异丙醚的二元及三元相平衡
采用汽液双循环高压测定装置,测定了CO2与乙醚在298.45K、308.65K和318.45K和CO2与异丙醚在299.15K、308.65K和318.45K下,压力范围0.72 ̄8.32MPa的二元汽液平衡数据。同时还测定了以上3个组分在308.65K、压力在3.04、4.02和5.00MPa下的三元汽液平衡数据。对所测实验数
期刊
汽液平衡
乙醚
异丙醚
二氧化碳
vaporliquidequilibrium
carbondioxide
ethylether
isopropylether
《周易·家人》与中国古代家庭伦理的构建
《周易·家人》以家庭问题为主题,奠定了中国古代家庭伦理的基调,为中国古代的家庭伦理提供了重要的理论渊源。《家人》表达了女性在治家方面的重要作用,确立了男主外,女主内
期刊
周易
家人
古代
家庭伦理
Zhouyi
Jiaren
ancient
family ethics
苯—环己烷—甲基环己烷—DMF体系汽液平衡数据的测定与关联
采用改进的Rose釜,测定了101.3kPa下,苯(1)-DMF(2)、环己烷(1)-DMF(2)、环己烷(1)-甲基环己烷(2)3组二元体系,以及苯(1)-环己烷(2)-DMF(3)三元体系,苯(1)-环己烷(2)-甲基环己烷(3)-DMF(4)四元体系的VLE数据。3组二元体系的VLE数据均通过了积分法和微分法热力学一致
期刊
苯
环己烷
甲基环己烷
DMF
汽液平衡
benzene
cyclohexane
methylcyclohexane
DMF(N
Ndimethylformam
次贷危机下我国商业银行房贷业务的思考
2007年美国的次贷危机的爆发使美国金融界受到了一次极大的震荡,甚至可以说是行业“洗牌”,许多银行和投行都受到影响。本文分析了中关住宅抵押贷款风险的共性,并提出了我国商业
期刊
次贷危机
商业银行
房贷业务
sub -prime mortgage loan crisis
commercial bank
housing mortgage
东风本田思域 IMT阀门锈死
故障现象:一辆2009款东风本田恩域装配R18A1型发动机,发动机故障灯亮维修人员在对故障码清除后,发动机故障灯熄灭,但是在该车行驶约20km后,故障灯再次亮起。
期刊
本田
发动机故障灯
阀门
故障码清除
故障现象
维修人员
行驶
张振勋商办铁路的思想及其历史影响
张振勋商办铁路的思想集中体现在他向清廷提出的《商务条议》中。他强调修筑铁路乃发展经济以进行"商战"之内容和手段。他主张实行铁路商办政策,同时解除对支路垄断政策,大力
期刊
张振勋
《商务条议》
商办铁路
思想
晚清
Zhang Zhenxun
"The Proposal on Commerce"
the r
PLA/PLGA共聚物在组织工程中的应用
聚乳酸(Polylactic acid,PLA)及其聚羟基乙酸共聚物[Poly(D,L—lactic—co—glycolic)acid]是一种生物相容性良好的可降解生物材料,具有支架和缓释的双重作用,目前针对性的研究主要集
期刊
PLA/PLGA共聚物
降解机制
组织工程
PLMPLGA
Degradation mechanism
Tissue engineering
三菱欧蓝德EX前照灯自动调平系统报警
一辆2009年生产的三菱欧蓝德EX,行驶里程为49686km。客户报修仪表盘上黄色的警告指示灯常亮,经维修人员检查,确认是前照灯自动调平警告指示灯亮。
期刊
自动调平系统
前照灯
欧蓝德
三菱
警告指示灯
报警
行驶里程
维修人员
与本文相关的学术论文