【摘 要】
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位相差放大技术是提高位相分辨率和测量精度的一种手段,在干涉计量领域,可用来检测光学元件的微弱畸变 和由于物场变化引起的系统位相的变化等。本文介绍了位相差放大基本原
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800,上海 201800,上海 201800
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位相差放大技术是提高位相分辨率和测量精度的一种手段,在干涉计量领域,可用来检测光学元件的微弱畸变 和由于物场变化引起的系统位相的变化等。本文介绍了位相差放大基本原理和研究进展。
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