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采用QMS200质谱仪进行镀膜过程中的气氛监控,通过俄歇电子能谱分析了氮气分压与Zr-N薄膜中氮含量的关系;通过Zr-N薄膜颜色的测量得出了氮分压与薄膜颜色的关系.
氮分压对氮化锆薄膜颜色影响规律的研究
【摘 要】
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采用QMS200质谱仪进行镀膜过程中的气氛监控,通过俄歇电子能谱分析了氮气分压与Zr-N薄膜中氮含量的关系;通过Zr-N薄膜颜色的测量得出了氮分压与薄膜颜色的关系.
【机 构】
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河北农业大学
【出 处】
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真空与低温
【发表日期】
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2004年4期
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