【摘 要】
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利用电子微探针波谱仪,对单源固相混合真空镀膜制备的不同混合比的TiO_2:Ta_2O_5单层膜,进行了膜成份分析。选择P-T方法对电子探针测试数据做了理论修正。实验结果表明:由于T
【机 构】
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国防科枝大学应用物理系,国防科枝大学应用物理系,国防科枝大学应用物理系,国防科枝大学应用物理系,
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利用电子微探针波谱仪,对单源固相混合真空镀膜制备的不同混合比的TiO_2:Ta_2O_5单层膜,进行了膜成份分析。选择P-T方法对电子探针测试数据做了理论修正。实验结果表明:由于TiO_2与Ta_2O_5真空蒸发温度的差异,单源混合蒸发时,出现了分馏蒸发现象。
The composition of the films was analyzed by electron microprobe spectrometer (TEM). The single - source solid - phase mixed vacuum coating with different mixing ratio of TiO_2: Ta_2O_5 monolayer was prepared. The P-T method was used to theoretically correct the electron probe test data. The experimental results show that due to the difference of the vacuum evaporation temperature of TiO 2 and Ta 2 O 5, fractional evaporation occurs when single source is mixed and evaporated.
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