【摘 要】
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设计了声表面波氢气传感器的结构,利用ANSYS软件建立了声表面波传感器的有限元模型,并对SAW氢气传感器进行了仿真,最后用数据处理软件Origin分析了敏感薄膜的材料参数对传感
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设计了声表面波氢气传感器的结构,利用ANSYS软件建立了声表面波传感器的有限元模型,并对SAW氢气传感器进行了仿真,最后用数据处理软件Origin分析了敏感薄膜的材料参数对传感器输出的影响。传感器通入1 000×10-6的氢气后,钯膜的厚度、密度、弹性模量等发生了相应改变,进而导致输出电压、频率等发生改变。分析表明：钯膜的厚度增大时,声表面波在压电基底上的传播速度减慢,频率变小,输出端电压的幅值增大;钯膜的密度变小时,输出端电压的幅值变小;钯膜的弹性模量变小时,输出端电压的幅值增大,时间上略有延
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