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文章旨在介绍适应于长波红外焦平面阵列技术发展的红外探测器，由于篇幅的关系，本文着重评述ＩｎＡｓＳｂ应变层超晶格红外探测器和ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ多量子阱红外探测器的特点、器件结构、主要制作工艺，性能参数，以及急需要解决的一些问题。
新一代长波长红外探测器
【摘 要】
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文章旨在介绍适应于长波红外焦平面阵列技术发展的红外探测器，由于篇幅的关系，本文着重评述ＩｎＡｓＳｂ应变层超晶格红外探测器和ＧａＡｓ／ＧａＡｌＡｓ多量子阱红外探测器的特点、器件结构、主要制作工艺，性能参
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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1994年2期
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