【摘 要】
：
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量块结构的制作,通过玻璃软化键合方法完成上、
【机 构】
：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室,中国科学院研究生院
论文部分内容阅读
提出了一种利用体微机械加工技术制作的硅三层键合电容式加速度传感器。采用硅各向异性腐蚀和深反应离子刻蚀技术实现中间梁-质量块结构的制作,通过玻璃软化键合方法完成上、下电极的键合。在完成整体结构圆片级真空封装的同时通过引线腔结构方便地实现了中间电极的引线。传感器芯片大小为6.8mm×5.6mm×1.26mm,其中敏感质量块尺寸为3.2mm×3.2mm×0.42mm。对封装的传感器性能进行了初步测试,结果表明制作的传感器灵敏度约4.15pF/g,品质因子为56,谐振频率为
其他文献
从生物学分类上讲，蜘蛛和昆虫都属节肢动物类，但蜘蛛属蛛形纲，昆虫属昆虫纲。
8月8日-9日，由吉林省医学会主办、吉林大学第一医院暨《临床肝胆病杂志》编辑部协办的“长春国际消化性疾病暨肝病高峰论坛”，在吉林大学第一医院成功举办。来自全国各大医疗机
针对无线传感器网络经典集中式多维定标MDS-MAP算法在定位精度与矩阵计算复杂度方面的不足，提出一种基于分布式的ADMDS-MAP定位算法。该算法通过采用测定距离量化，得到节点的近
门脉高压症是肝硬化严重并发症之一，是食道胃底静脉曲张破裂出血的主要原因，但目前尚缺乏有效缓解门脉高压症的药物。复方鳖甲软肝片已被证实可有效缓解肝纤维化及早期肝硬化的
为了实现网络覆盖范围的最大化，延长网络寿命，本文在粒子进化的多粒子群算法的基础上提出了一种无线传感网络覆盖优化策略。通过多种群并行搜索，采取粒子进化理论使陷入局部最优
基于巴克豪森效应,提出了一种钢板空气隙缺陷无损检测的方法。根据趋肤效应,改变交变磁场的频率对钢板进行逐层扫描检测,通过检测在不同激励频率下钢板表面接收到的巴克豪森
音响链由两只3英寸高的金字塔形的发送器和接收器对组成。该系统通过Bose开发的FreeFleld技术无线传送来压缩的音乐信号流到家里的各个房间，供各个房间中的音响链引出信号欣赏
将神经元培养在半导体传感器芯片表面,构建出能够对细胞电生理特性进行长时程无损测量的神经细胞传感器,具有广阔的生物医学应用前景。由于生物信号非常微弱,采集到的信号往往难以满足实际检测的需要。本研究针对培养在光寻址电位传感器(LAPS)芯片表面的PC12细胞的胞外电生理信号,采用小波变换方法对其进行去噪处理。通过小波变换将信号分解为不同层次的小波系数,得到每一层的阈值。并根据每一层系数特点,按阈值进行
对于MEMS振动陀螺来说,找到一个快速有效的方法来评估其结构参数是非常重要的,比如谐振频率和阻尼系数,应根据微机械陀螺设计和制作的不同阶段,从测试精度、测试速度和试验方
针对图像间特征点匹配的SURF算法在图像遮挡、旋转和亮度改变等复杂情况下误匹配率较高的问题,本文提出了一种新的匹配算法。通过分解SURF特征点描述子向量,重新构造了匹配基准,在此基础上运用关联规则的支持度判定策略,提高了复杂情况下图像间特征点匹配的精度。计算机仿真实验表明,与SURF算法相比,本文算法的图像匹配正确率有明显提高。