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一种简易扩散泵封闭式加热器
一种简易扩散泵封闭式加热器
来源 :分析测试技术与仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rzptxjgl
【摘 要】
:
介绍了一种用于电镜扩散泵(DP)的封闭式加热器,它具有结构简单、安装及检修方便,成本低廉等特点。该装置适应于JEM-200CX电镜及JEE-4X真空喷镀仪配置,近年来的使用证明该装置完全可以替代原装进口封
【作 者】
:
王大庆
于冰
王超
【机 构】
:
中国矿业大学
【出 处】
:
分析测试技术与仪器
【发表日期】
:
1997年02期
【关键词】
:
封闭式加热器
原装进口
发热盘
机械泵
透射式
保护开关
绝缘阻抗
切换开关
组装式
水压力
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介绍了一种用于电镜扩散泵(DP)的封闭式加热器,它具有结构简单、安装及检修方便,成本低廉等特点。该装置适应于JEM-200CX电镜及JEE-4X真空喷镀仪配置,近年来的使用证明该装置完全可以替代原装进口封闭式加热器。
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