【摘 要】
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为了获得具有较高激光损伤阈值的短波通截止滤光片,使用TFCalc膜系软件设计了多层膜的光谱曲线和电场强度曲线,采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了LaTiO3/SiO2组合膜堆的
【机 构】
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西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,西安现代控制技术研究所,白俄罗斯国立信息与无线电电子大学,
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为了获得具有较高激光损伤阈值的短波通截止滤光片,使用TFCalc膜系软件设计了多层膜的光谱曲线和电场强度曲线,采用电子束热蒸发技术在K9基底上制备了LaTiO3/SiO2组合膜堆的滤光片,通过激光辐照预处理工艺尝试提高多层膜的激光损伤阈值（LIDT）,测试并讨论了激光预处理对滤光片LIDT的影响.研究结果表明:通过分析滤光片的电场强度,得到优化后的膜系是G|（HL）10 H0.5L|A,制备后滤光片的LIDT为11.7J·cm-2（1 064nm,10ns）;当辐照激光能量为滤光片LIDT的80%时,辐照后滤光片的LIDT为14.3J·cm-2（1 064nm,10ns）,较原值提高22.2%;当辐照能量为80%,采用不同辐照次数实验时,发现辐照3次后滤光片的LIDT为16.1J·cm-2（1 064nm,10ns）,较原值提高了37.6%.激光预处理后滤光片的表面粗糙度都有下降的趋势.
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