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Investigation by AES, EELS and TRIM Simulation Method of InP(100) Subjected to He<sup>

来源 :材料科学与应用期刊(英文) | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong591

【摘要】

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Auger Electron Spectroscopy (AES) and Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS) have been performed in order to investigate the InP(100) surface subjected to ion

【作者】

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Mohamed Ghaffour Abdellaoui Ab

【机构】

：

不详

【出处】

：

材料科学与应用期刊(英文)

【发表日期】

：

2011年5期

【关键词】

：

AES EELS Interaction Ions-Matter Simulation Method TRIM INP AES EELS Interaction

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Auger Electron Spectroscopy (AES) and Electron Energy Loss Spectroscopy (EELS) have been performed in order to investigate the InP(100) surface subjected to ions bombardment. The InP(100) surface is always contaminated by carbon and oxygen revealed by C-K

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