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将变论域思想加入到常规模糊控制中,实现了对MOCVD系统温升过程的有效控制.该控制器包含两个模糊控制过程,一个实现对输入输出论域的自调整,一个实现对温升的控制,通过实验仿真表明,所采用的控制方案能提高温升过程控制的整体性能.
基于变论域模糊PID算法的MOCVD温升控制
【摘 要】
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将变论域思想加入到常规模糊控制中,实现了对MOCVD系统温升过程的有效控制.该控制器包含两个模糊控制过程,一个实现对输入输出论域的自调整,一个实现对温升的控制,通过实验仿
【机 构】
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浙江大学电气工程学院
【出 处】
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工业控制计算机
【发表日期】
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2013年10期
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