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用等离子体化学气相沉积方法制备氢化非晶硅合金薄膜，经高温退火及高温氧化可制备纳米尺寸的晶料，室温下能发出可见光。实验表明，高温氧化后的纳米颗粒被镶嵌在ＳｉＯ２的无序网络各，其晶粒尺寸减少，而发光强度增强，发光峰位置的短波方向移动。
纳米硅基薄膜光致发光机制的初步研究
【摘 要】
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用等离子体化学气相沉积方法制备氢化非晶硅合金薄膜，经高温退火及高温氧化可制备纳米尺寸的晶料，室温下能发出可见光。实验表明，高温氧化后的纳米颗粒被镶嵌在ＳｉＯ２的无序网络各，其晶
【机 构】
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汕头大学物理系
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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1998年2期
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