【摘 要】
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采用磁场增强电弧离子镀技术,通过改变位于靶材后方的轴向磁场强度,在2024Al合金表面沉积CrN薄膜,研究磁场强度对薄膜显微组织、显微硬度及耐腐蚀性能的影响。结果表明：随着磁
【机 构】
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中国科学院金属研究所专用材料与器件研究部,大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室,中国科学院金属研究所金属腐蚀与防护实验室
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采用磁场增强电弧离子镀技术,通过改变位于靶材后方的轴向磁场强度,在2024Al合金表面沉积CrN薄膜,研究磁场强度对薄膜显微组织、显微硬度及耐腐蚀性能的影响。结果表明：随着磁场强度的增加,CrN薄膜结构由Cr2N与CrN的混合相逐渐转变为CrN的单一相结构;磁场强度对薄膜表面形貌有明显影响,随着磁场强度的增加,薄膜表面小颗粒的数量逐渐减少,较大尺寸颗粒的数量有所增加;CrN薄膜的显微硬度和弹性模量在磁场强度为7960 A/m时达到最大值,分别为23.9 GPa与392.6 GPa;CrN薄膜的阳极极化曲线
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