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浅论MEMS技术发展趋势与应用
浅论MEMS技术发展趋势与应用
来源 :科技信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hoget
【摘 要】
:
鸡西矿业集团公司张辰煤矿西三采区3
【作 者】
:
张勇
张勇
张剑
张剑
熊国宏
熊国宏
【机 构】
:
重庆水利电力职业技术学院,中国,重庆,402160;重庆大学通信工程学院,中国,重庆,400010;重庆水利电力职业技术学院,中国,重庆,402160;重庆电力公司永川供电局,中国,重庆,402160
【出 处】
:
科技信息
【发表日期】
:
2010年35期
【关键词】
:
微电子机械系统
传感器
尺度效应
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鸡西矿业集团公司张辰煤矿西三采区3<
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