低温硫蒸气辉光放电渗硫

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【摘要】

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<正> 本文介绍一种能广泛应用的低温渗硫工艺,即以硫蒸气为渗入介质进行辉光放电渗硫,在金属零件上合成固体润滑表面的工艺及其应用。一、工作原理及磨擦性能真空反应室中(见

【作者】

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张弋飞

【机构】

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中国农村能源协会固体表面材料研究所

【出处】

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机械工艺师

【发表日期】

：

1989年3期

【关键词】

：

渗硫辉光放电固体润滑硫蒸气

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<正> 本文介绍一种能广泛应用的低温渗硫工艺,即以硫蒸气为渗入介质进行辉光放电渗硫,在金属零件上合成固体润滑表面的工艺及其应用。一、工作原理及磨擦性能真空反应室中(见图1)有阴极1阳极2。当反应室中充满硫蒸气时,阴极与阳极间施以直流高电压后,反应室中产生辉光放电,硫离子与阴极盘中的工件3产生物理化学作用,与零件表面的元素化合而成

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