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阐述了氧化铟锡（ＩＴＯ）薄膜的气敏特性及其导电扩散阻挡作用，对ＩＴＯ气敏薄膜及扩散阻挡层薄膜的制备过程、测试方法和应用进行了研究讨论。
透明导电氧化铟锡薄膜的特殊应用
【摘 要】
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阐述了氧化铟锡（ＩＴＯ）薄膜的气敏特性及其导电扩散阻挡作用，对ＩＴＯ气敏薄膜及扩散阻挡层薄膜的制备过程、测试方法和应用进行了研究讨论。
【机 构】
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四川工业学院物理实验室,复旦大学材料科学系
【出 处】
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物理
【发表日期】
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1996年7期
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