【摘 要】
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单晶硅片超精密加工表面层损伤较小,检测评价比较困难。为了确定合适的检测技术,对多种硬脆材料表面层质量检测技术进行了系统的试验研究。结果表明,硅片加工表面宏/微观形貌
【机 构】
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郑州大学机械工程学院,大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金（51075125）资助项目, 河南省教育厅自然科学研究资助项目（No.2011A460012）
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单晶硅片超精密加工表面层损伤较小,检测评价比较困难。为了确定合适的检测技术,对多种硬脆材料表面层质量检测技术进行了系统的试验研究。结果表明,硅片加工表面宏/微观形貌可采用各种显微镜及3D表面轮廓仪等进行检测,表面损伤分布可采用择优腐蚀法和分步蚀刻法检测;粗加工和半精加工硅片的损伤深度宜采用角度抛光法检测,而精加工硅片的损伤深度较小,宜采用截面Raman光谱分析和恒定腐蚀速率法检测;损伤层的微裂纹、位错、非晶及多晶相变等微观结构可采用分步蚀刻法、平视和剖视TEM分析法及显微Raman光谱仪检测;表面层宏观残
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