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发光多孔硅的制备及其电化学成膜机制研究

来源 :材料保护 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mingxing10192009

【摘 要】

：

研究了阳极氧化法制备多孔硅的工艺、表面形貌及电化学成膜机制。 The process, surface morphology and electrochemical deposition mechanism of porous silicon prepare

【作 者】

：

白新德 柳百新 兰爱东 马春来 蔡俊 

【机 构】

：

清华大学材料科学与工程系

【出 处】

：

材料保护

【发表日期】

：

1996年06期

【关键词】

：

多孔硅 阳极氧化 氧化时间 表面形貌 光致发光 硅表面 电流密度 纳米材料 量子限制效应 失重速率 

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研究了阳极氧化法制备多孔硅的工艺、表面形貌及电化学成膜机制。 The process, surface morphology and electrochemical deposition mechanism of porous silicon prepared by anodic oxidation were studied.

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