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红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.
红外热释电探测器的微图形化研究
【摘 要】
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红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采
【机 构】
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西安交通大学电子材料研究所,西安交通大学电子材料研究所,同济大学功能材料研究所
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2003年4期
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