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主要介绍了扫描电镜的组成部分、工作原理及对扫描电镜的日常维护工作。并以ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜为例,结合扫描电镜的操作步骤,讨论了影响扫描电镜图像质量的主要因素及操作技巧。
ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜操作技巧及日常维护
【摘 要】
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主要介绍了扫描电镜的组成部分、工作原理及对扫描电镜的日常维护工作。并以ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜为例,结合扫描电镜的操作步骤,讨论了影响扫描电镜图像质量的主
【机 构】
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曲阜师范大学实验教学与设备管理中心,曲阜师范大学物理工程学院
【出 处】
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分析仪器
【发表日期】
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2020年1期
【基金项目】
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山东省自然科学基金博士项目(ZR2019BA010)
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