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磁控溅射钛靶材的发展概述
磁控溅射钛靶材的发展概述
来源 :金属功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a1a1b1b1ccddee
【摘 要】
:
详细介绍了磁控溅射Ti靶材的种类、应用及制备情况,指出了目前Ti靶材亟待解决的几个重大问题,并对靶材的发展趋势进行了探讨和展望。
【作 者】
:
董亭义
万小勇
章程
何金江
吕保国
【机 构】
:
北京翠铂林有色金属技术开发中心有限公司,有研亿金新材料有限公司,北京市高纯金属溅射靶材工程技术研究中心,
【出 处】
:
金属功能材料
【发表日期】
:
2017年05期
【关键词】
:
磁控溅射
钛靶
现状
发展趋势
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详细介绍了磁控溅射Ti靶材的种类、应用及制备情况,指出了目前Ti靶材亟待解决的几个重大问题,并对靶材的发展趋势进行了探讨和展望。
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