俄歇定量分析基体效应校正因子的获得

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本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结果。实验表明,非弹性碰撞平均自由程效应的校正和背散射因子的校正对定量分析是同样重要的。 This paper explores a new method for the determination of the matrix effect correction factor by Auger’s quantitative analysis. The relative backscattering factor and the relative inelastic collision mean free path for the quantitative analysis are obtained by measuring the Auger intensity-time curve in the deposition process and fitting it. They are used for the quantitative analysis of alloy samples, and get better results. Experiments show that the correction of average free path effect and backscatter correction of inelastic collisions are equally important for quantitative analysis.
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