【摘 要】
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为改善镁合金表面的耐磨性能,采用磁控溅射工艺在AZ31镁合金表面制备了纳米Al203陶瓷涂层。用XRD、SEM-EDS等分析了涂层的结构和形貌,用正交试验讨论了温度、功率、时间对涂
【机 构】
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重庆大学国家镁合金材料工程技术研究中心,重庆大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50725413）,国家重大基础研究资助项目（973计划）（2007CB613704）,重庆市科委资助项目（2010CSTC-HDLS）
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为改善镁合金表面的耐磨性能,采用磁控溅射工艺在AZ31镁合金表面制备了纳米Al203陶瓷涂层。用XRD、SEM-EDS等分析了涂层的结构和形貌,用正交试验讨论了温度、功率、时间对涂层表面硬度的影响规律。结果表明,影响纳米Al2O3膜硬度和耐磨性的因素是溅射功率和溅射时间,最佳的工艺为80℃,200W,3h。采用本工艺技术,材料表面主要为2～10um厚、30nm左右的粒状δ-Al2O3致密层,表层硬度从基体767MPa提高为1 360MPa,提高了77.31%。
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