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电子探针显微分析法能把试样微区形貌分析与微区成分分析有机地结合起来。利用这一特点,文中对Au/Cr/Bi12GeO20声表面波器件作了显微分析研究,探明了薄膜电极脱落发生在Cr膜与Bi12gEo20基片上的界面上。由于Cr膜与基片间是弱的简单附着机制,并且Cr膜随着强烈的内应力,最终导致薄膜电极脱落。