【摘 要】
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采用加入硅硼玻璃相的溶胶-凝胶（Sol-Gol）技术,以无机物为原料,在低温下成功制备了Pt/Ti/Si O2/Si衬底上Bi3.15La0.75Ti3O12（BLT）铁电薄膜。XRD、AFM分析及电学性能的测试结果表
【基金项目】
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浙江省教育厅基金资助项目（20050397）, 中国计量学院自然科学基金资助项目（2006ZD05）
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采用加入硅硼玻璃相的溶胶-凝胶（Sol-Gol）技术,以无机物为原料,在低温下成功制备了Pt/Ti/Si O2/Si衬底上Bi3.15La0.75Ti3O12（BLT）铁电薄膜。XRD、AFM分析及电学性能的测试结果表明,600～650℃退火处理的加入硅硼玻璃相BLT铁电薄膜具有单一的层状钙钛矿结构;薄膜表面平整无裂纹、致密,薄膜为多晶生长;其剩余极化强度（2Pr）为27.09μC/cm2,矫顽场Ec约为53.1 kV/cm;室温下,在测试频率为1 MHz,经1.0×1011极化反转后,剩余极化
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