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XPS和TOF-SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分，找出污染物的来源；XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息，而TOF-SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者联用是分析表面有机微污染物强有力的手段。
XPS和TOF—SIMS在硬盘驱动器（HDD）磁头表面微污染分析中的应用
【摘 要】
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XPS和TOF-SIMS表面分析仪器联用分析磁头臂焊接位表面有机微污染物成分，找出污染物的来源；XPS能够提供污染物中元素组成及价态信息，而TOF-SIMS能够提供其分子信息。试验证明两者
【机 构】
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广东省东莞市新科磁电厂MTE部,PhysicalElectronicsPHI,VisitingProfessorfromLanzhouInstituteofChemicalPhysics
【出 处】
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理化检验(化学分册)
【发表日期】
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2001年2期
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