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利用直流反应磁控溅射技术，使用Mo与C、Si、Al、W的复合靶，在不锈钢和硅（100）衬底上分别制备了MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN涂层。利用XRD、XPS、SEM、HRTEM方法分析了薄膜的微观结构，利用纳米压痕技术和热重分析法测试了薄膜的硬度和抗氧化性能。研究结果表明，通过纳米复合化和固溶强化，可以大幅度提高MoN基硬质薄膜的硬度和抗氧化温度，说明MoN基硬质涂层具有较好的综合性能，可望在航空工业中得到广泛应用。