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为了满足金刚滚轮廓形测量系统的高精度测量要求,提出了一种基于各向异性扩散滤波的Zernike距亚像素边缘检测方法。该方法是先利用各向异性扩散滤波代替高斯滤波形成新canny算法进行金刚滚轮图像粗定位,再利用Zernike距算法对边缘进行亚像素定位,实现图像边缘的亚像素检测。试验表明,该算法抗噪性强,检测精度高。