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期刊论文
砷化镓欧姆接触中的能带工程
砷化镓欧姆接触中的能带工程
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wgsnt1
【摘 要】
:
介绍了欧姆接触中运用能带工程的原理,评述了近年来GaAs欧姆接触中能带工程应用的研究状况。具体分析了用薄的窄能隙材料做帽层降低势叁高度和基于In金属化系统的欧姆接触两方面的应
【作 者】
:
张万荣
李志国
【机 构】
:
北京工业大学电子工程系可靠性物理研究室
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
欧姆接触
能带工程
砷化镓
Semiconductorphysics
GaAs
Ohmiccontact
Energybandengineering
【基金项目】
:
北京市科委科技新星计划基金,北京工业大学211基金
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介绍了欧姆接触中运用能带工程的原理,评述了近年来GaAs欧姆接触中能带工程应用的研究状况。具体分析了用薄的窄能隙材料做帽层降低势叁高度和基于In金属化系统的欧姆接触两方面的应用。
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